中科二期扩建环评过关,台积电2nm厂即将启动
2月9日消息,攸关台积电2nm厂的中部科学园区台中园区扩建二期开发计划,于昨(8)日通过环评大会审查,预估产值可达新台币5,014亿元(约合人民币1,130.9亿元),将提供4,500个就业机会。这意味着台积电2nm厂即将启动。
据悉,环保署昨日召开环评大会,其中一案为中科二期扩建案。中科二期希望引进半导体产业,维持中国台湾半导体全球领先地位,据悉,台积电2nm厂将进驻,此案受高度关注,历经三次专案小组审查后,去年底通过环评初审,昨日再于环评大会闯关成功,顺利通过环评最后一关。
根据国科会中科管理局资料,中科二期扩建开发面积从原本94.62公顷,缩减至89.75公顷,但绿地面积“不打折”,维持原本的12.99公顷。
用水量方面,原本规划为10万CMD(吨/每日),随著面积缩减,略降至95,565 CMD,并承诺除民生用水外,终期100%再生水,全区用水回收率84%,并自设再生水处理设施,终期可产制2万CMD再生水。
用电方面,原规划总用电量975MW(百万瓦),也调降至925MW,并承诺进驻半导体厂商每年取得25%再生能源,2050年使用100%再生能源。
对此,台积电昨日表示“乐见其成”,并强调将秉持一贯的承诺的通过气候与能源、水管理、资源循环及空气污染防制等面向,以具体作为实践绿色制造。
据了解,台积电2nm厂区分别计划在竹科宝山、中科设厂。台积电董事长刘德音去年底在3nm量产典礼上特别指出,目前准备中的2nm晶圆厂,分别落址新竹与中部科学园区, 共计六期的工程皆依计划持续进展中。
台积电总裁魏哲家日前在今年1月法说会上也提及,台积电2nm进度比原先预期来得好,维持风险试产2024年、量产2025年的规划,目前进展良好。
资料显示,台积电去年进入2nm N2制程技术的开发阶段,着重于测试载具设计与实作、光罩制作及硅试产等,主要进展在于提升基础制程设定、晶体管与导线性能。在光刻技术部份,台积电研发组织藉由提升晶圆良率达到可靠影像以支持3nm试产,并提升极紫外光(EUV)的应用、降低材料缺陷与增进平坦化的能力,以支持2nm技术的开发。
在此前的2022年台积电技术论坛上,台积电也首度公布了其下一代先进制程N2(即2nm制程)的部分技术指标:相较于其N3E(3nm的低成本版)工艺,在相同功耗下,台积电2nm工艺的性能将提升10~15%;而在相同性能下,台积电2nm工艺的功耗将降低23~30%;晶体管密度仅提升了10%。
编辑:芯智讯-林子
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